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等离子体反应溅射淀积氧化铁膜及其气敏特性

来源 :福州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：z09tt

【摘 要】

：

本文介绍直接用Ｆｅ作靶材料，空气中的氧作反应气体，利用等离子体反应溅射淀积出氧 化铁簿膜．同时在Ｆｅ靶上挂所需掺杂元素的金属丝．可方便地实现掺杂．气敏检测结果表明，这 是一种酒敏材料

【作 者】

：

林玉枝 姚圣康 

【机 构】

：

福州大学物理系,福州大学物理系

【出 处】

：

福州大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

1991年2期

【关键词】

：

氧化铁 薄膜 气敏特性 等离子体 plasma iron oxide gas response 

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本文介绍直接用Ｆｅ作靶材料，空气中的氧作反应气体，利用等离子体反应溅射淀积出氧 化铁簿膜．同时在Ｆｅ靶上挂所需掺杂元素的金属丝．可方便地实现掺杂．气敏检测结果表明，这 是一种酒敏材料．借助于ＸＲＤ、ＳＥＭ的分析和观察表明．在７５０℃左右热处理之前，簿膜是一种 非晶氧化铁结构．它与烧结型γ－Ｆｅ２Ｏ３或α－Ｆｅ２Ｏ３的结构不同，具有对乙醇的独特选择性．

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