【摘 要】
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采用传统固相反应法合成Mg2+xAl4Si5O18+x(0≤x≤0.4)微波介质陶瓷,研究了MgO含量对陶瓷烧结特性、微观结构和微波介电性能的影响。实验结果表明,增加MgO的含量可以有效地抑
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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采用传统固相反应法合成Mg2+xAl4Si5O18+x(0≤x≤0.4)微波介质陶瓷,研究了MgO含量对陶瓷烧结特性、微观结构和微波介电性能的影响。实验结果表明,增加MgO的含量可以有效地抑制Al6Si2O18第二相的出现,显著提升陶瓷的品质因数,同时还可以加速陶瓷的致密化,促进晶粒的长大。但是过量的MgO会导致陶瓷内部出现较大的气孔,造成品质因数和介电常数的下降。在x=0.2时获得最佳的微波介电性能:介电常数εr=5.18,品质因数Q×f=86374 GHz,谐振频率温度系数τf=-31
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