【摘 要】
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笔者构建并研究了基于ZnO纳米结构的阻抗式湿度传感器.首先采用水热法合成了不同掺杂浓度的湿敏氧化锌纳米棒Zn1-xSnxO(x=0%,1%,3%,5%),然后通过介电泳操作将其在微加工叉指电极之间沉积.以纳米结构的氧化锌为传感元件,将处理后的样品作为阻抗传感器进行测试.通过检测氧化锌阻抗随湿度环境变化构建阻抗式湿度传感器.结果表明,该湿度传感器具有较高的灵敏度,在提高传感性能方面有广阔的应用前景.
【机 构】
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上海电力大学电子信息工程学院,上海 200090
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笔者构建并研究了基于ZnO纳米结构的阻抗式湿度传感器.首先采用水热法合成了不同掺杂浓度的湿敏氧化锌纳米棒Zn1-xSnxO(x=0%,1%,3%,5%),然后通过介电泳操作将其在微加工叉指电极之间沉积.以纳米结构的氧化锌为传感元件,将处理后的样品作为阻抗传感器进行测试.通过检测氧化锌阻抗随湿度环境变化构建阻抗式湿度传感器.结果表明,该湿度传感器具有较高的灵敏度,在提高传感性能方面有广阔的应用前景.
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