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硅压阻应变计已广泛应用,尤其是对压力传感器.我们从最常用的工艺比较知道,到目前为止,它们之中没有一个成功地得到所有所需的量(表1).感谢SIMOX工艺,它使得在同一传感器上同时得到所有的优点.
SIMOX（氧注入隔离）：一种用于高温硅传感器的工艺
【摘 要】
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硅压阻应变计已广泛应用,尤其是对压力传感器.我们从最常用的工艺比较知道,到目前为止,它们之中没有一个成功地得到所有所需的量(表1).感谢SIMOX工艺,它使得在同一传感器上同
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1990年2期
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