【摘 要】
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在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院,浙江工业大学,中国科学院高能物理研究所,
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在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.
Based on the analysis of the refraction focusing theory of X-ray compound refractive lens (XCRL), the hourglass-like XCRL of SU-8 material was designed and fabricated by backside exposure technology. While reducing the process steps and making the fabrication more simple and easy.Experimental testing of the fabricated lens under 10 keV monochromatic X-ray radiation has been carried out. The results show that the lens produced by the method achieves a one-dimensional Focus.
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