【摘 要】
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基于气-液-固生长机理和原位掺杂技术,成功制备了2%（质量分数）Sb掺杂SnO_2纳米线,所制器件可以在低压环境下工作且不受栅漏电的影响;将该纳米线作为场效应晶体管的沟道,分析了
【机 构】
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陕西铁路工程职业技术学院,西安交通大学
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基于气-液-固生长机理和原位掺杂技术,成功制备了2%（质量分数）Sb掺杂SnO_2纳米线,所制器件可以在低压环境下工作且不受栅漏电的影响;将该纳米线作为场效应晶体管的沟道,分析了不同比例的Sb掺杂对晶体管电学性能参数的影响。结果显示：Sb质量分数由0.5%增加到2.5%时,随着Sb掺杂量的增大,晶体管的稳定性增强,但栅电压的调控能力减弱,晶体管功耗增大且对空穴和电子的迁移能力减弱。
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