复杂微机电系统多学科设计方法研究

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针对复杂微机电系统设计涉及多个学科领域的特点 ,提出了应用多学科设计优化方法来设计复杂微机电工程产品 ,归纳分析了复杂微机电系统在设计过程中可能涉及的学科 ,探讨了多学科设计方法在复杂微机电系统设计中的应用 Aiming at the characteristics of complex microelectromechanical system design involving many disciplines, a multidisciplinary design optimization method is proposed to design complex microelectromechanical engineering products. The subjects that may be involved in the design of complex microelectromechanical systems are summarized and analyzed. Multidisciplinary Application of Design Method in Complex MEMS Design
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