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改变基片转速，连续外延生长了双层磁光薄膜，其折射率为差小于１０＾－＾２，用ＮｉＣｒ膜作掩膜，在双层磁光薄膜进行离子束刻蚀，制作了宽度为２０μｍ，长度为６ｍｍ，高度为的０．９μｍ的脊形波导，并在此波导上进行了光传输实验。
用离子束刻蚀法制作层状液相外延脊型磁光波导
【摘 要】
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改变基片转速，连续外延生长了双层磁光薄膜，其折射率为差小于１０＾－＾２，用ＮｉＣｒ膜作掩膜，在双层磁光薄膜进行离子束刻蚀，制作了宽度为２０μｍ，长度为６ｍｍ，高度为的０．９μｍ的脊形波导，并在此波导上进行了光传输实验
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1995年2期
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