【摘 要】
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量子点的性质主要由其密度及尺寸参数控制,而原子在衬底上的成核运动又决定了量子点的密度、直径、高度等参数,因此研究原子的扩散成核过程对自组装制备量子点具有重要意义。
【机 构】
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贵州大学大数据与信息工程学院,贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心,贵州财经大学信息学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(61564002,11664005),贵州省科技计划(黔科合基础[2017]1055),半导体功率器件可靠性教育部研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-(07))
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量子点的性质主要由其密度及尺寸参数控制,而原子在衬底上的成核运动又决定了量子点的密度、直径、高度等参数,因此研究原子的扩散成核过程对自组装制备量子点具有重要意义。本文通过分子束外延生长技术研究了GaAs(001)表面金属铝液滴的成核过程,发现衬底温度和金属铝沉积速率的变化直接影响了液滴的尺寸、密度以及形状等特征。根据经典成核理论分析GaAs(001)表面金属铝液滴空间分布与几何结构的演化规律,推导得出表面金属铝液滴密度与衬底温度、金属铝沉积速率的关系方程。在此基础上,进一步计算得出液滴形成过程中未成核态、
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