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本文报导了三种新的聚酯型光敏树脂,探索了适宜的合成条件和反应规律,初步探讨了聚酯型光敏树脂结构和性能的关系,发现影响聚酯胶光敏性和耐热性能的“奇偶数效应”.产品的曝光时间缩短到1秒左右,分辨率达到O.75μ,合成反应时间也缩短了40%左右.
三种聚酯型光敏树脂的合成及其光刻性能
【摘 要】
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本文报导了三种新的聚酯型光敏树脂,探索了适宜的合成条件和反应规律,初步探讨了聚酯型光敏树脂结构和性能的关系,发现影响聚酯胶光敏性和耐热性能的“奇偶数效应”.产品的曝
【机 构】
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华南师范大学 79届研究生 广东省测试分析研究所;
【出 处】
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华南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1984年02期
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