催化化学气相沉积法制备纳米碳管的工艺条件优化

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采用正交实验对催化化学气相沉积法(CCVD)制备多壁纳米碳管(CNTs)的反应温度、反应时间和气相物料之比进行了考察,给出了优化后的工艺参数.通过X-射线衍射仪、热失重分析、拉曼光谱分析和透射电镜等检测方法,对产物进行了分析.结果表明:最佳反应条件组合为VCH4:VN2:VH2=4:0:1,反应嘎度为600℃,反应时间为60min;因素对碳产率影响的主次顺序为反应温度、VCH4:VN2:VH2、反应时间.
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