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石英微机械陀螺敏感芯片的结构解耦特性研究
石英微机械陀螺敏感芯片的结构解耦特性研究
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:new_youxi
【摘 要】
:
石英微机械陀螺敏感芯片通常采用双端音叉结构,驱动音叉和检测音叉的振动耦合误差是其主要误差源。对双端音叉结构陀螺敏感芯片进行了结构解耦设计仿真,分析了芯片安装区对检
【作 者】
:
林日乐
李文蕴
谢佳维
满欣
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二十六研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2017年3期
【关键词】
:
石英微机械
陀螺
敏感芯片
结构解耦
quartz MEMSgyroscopesensitive chipstructure decoupling
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石英微机械陀螺敏感芯片通常采用双端音叉结构,驱动音叉和检测音叉的振动耦合误差是其主要误差源。对双端音叉结构陀螺敏感芯片进行了结构解耦设计仿真,分析了芯片安装区对检测音叉振动特性的影响。通过解耦设计,减小了零偏误差信号,提高了陀螺敏感芯片的稳定性。
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