【摘 要】
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设计了一种钛扩散铌酸锂(LiNbO3)晶体光波导结构,并在该基础上制作了长周期光栅。使用两步钛扩散方法在Z切LiNbO3基片上制造了波导,它包括一个单模芯层和一个平面包层,之后用光刻胶光栅置于波导表面。实验证明用这种结构设计长周期波导光栅是可行的。对光波导制造工艺和波导结构的深入研究,为制作高速电光调制型光栅提供技术基础。
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院,河南黄河河务局信息中心
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设计了一种钛扩散铌酸锂(LiNbO3)晶体光波导结构,并在该基础上制作了长周期光栅。使用两步钛扩散方法在Z切LiNbO3基片上制造了波导,它包括一个单模芯层和一个平面包层,之后用光刻胶光栅置于波导表面。实验证明用这种结构设计长周期波导光栅是可行的。对光波导制造工艺和波导结构的深入研究,为制作高速电光调制型光栅提供技术基础。
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