【摘 要】
：
本文报道一种低阻高化学稳定的Al∶Ti合金的制备方法及其在a－SiTFT中的应用．所获Al∶Ti合金电极材料的电阻率可达6．6μΩ·cm，与纯铝的相近．Ti的加入使Al∶Ti合金惰性增强，有效地抑
【机 构】
：
南开大学光电子所光学信息技术科学开放研究实验室!天津，300071,南开大学光电子所光学信息技术科学开放研究实验室!天津，300071,南开大学光电子所光学信息技术科学开放研究实验室!天津，30007
论文部分内容阅读
本文报道一种低阻高化学稳定的Al∶Ti合金的制备方法及其在a－SiTFT中的应用．所获Al∶Ti合金电极材料的电阻率可达6．6μΩ·cm，与纯铝的相近．Ti的加入使Al∶Ti合金惰性增强，有效地抑制了小丘（Hillock）的产生和阳极氧化时的被腐蚀现象．采用Al∶Ti合金栅和Al2O3／SiNx双层绝缘层的a-SiTFT有着与采用Ta栅和单层SiNx绝缘层的a－SiTFT相近的I－V参数，但前者稳定性明显提高．经+10V栅偏压处理1小时，未见VT漂移．这种双层冗余技术还能有效提高成品率．
This paper reports a low resistance and high chemical stability of Al: Ti alloy preparation and its application in a-SiTFT. The obtained Al: Ti alloy electrode material resistivity of up to 6.6μΩ · cm, similar to pure aluminum. The addition of Ti makes the Al: Ti alloy inert and inhibits Hillock formation and corrosion during anodization. The a-Si TFTs with Al: Ti alloy gate and Al2O3 / SiNx double-layer insulation have similar I-V parameters to a-SiTFT with Ta gate and single SiNx insulation, but the stability of the former is significantly improved. After +10 V gate bias for 1 hour, no VT drift. This double-layer redundancy technology can also effectively improve the yield.
其他文献
据统计,1990年全区共发生和受理森林案件606起,破坏林地984亩,损失木材2227立方米,毁坏幼树38.3万株,捕杀野生动物1295头(只),造成经济损失48.7
According to statistics,
目的探讨高海拔地区老年糖尿病肾病患者同型半胱氨酸(homocysteine,Hcy)的水平,探讨血清Hcy升高的意义。方法采用随机对照方法,根据不同程度的糖尿病肾病患者(早期肾病、临床
电力企业在人们的生活与工作中一直占据着相当重要的地位,我们党也一直重视相关工作的开展。而电力企业的党建工作一直是在正常工作中被大多数企业忽视的一部分,所以加强党建
5月19日晚8时50分,姚明悄然降落北京首都国际机场。 姚明原定在5月20日和在美国结束热身赛的中国女篮一起回国,但为了避开媒体,突然改变计划,提前一天抵京。其神秘行踪颇像
本文针对旋转体金属目标，提出了改进的时域递推法，以计算其电磁脉冲响应特性，它将面上的二线问题降为一线问题，减少了计算量，以便于计算大尺寸目标。同时，用该方法计算了不同脉冲宽
本文给出了一种利用ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ负阻特性实现的微波单片（简称ＭＭＩＣ）有源滤波电路，并考虑到ＭＭＩＣ工艺兼容性，提出了一种ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ变容管结构，从而实现了滤波器的压控功能．文中还给出了单片电路的设计方法以及ＣＡＤ模拟结
大学生思想的安全稳定性是影响高校稳定的最重要因素,调动一切力量做好学生的思想政治教育工作是高校维稳工作的重要内容之一。在此过程中,共青团组织以其坚定的政治立场、严
与其说季后赛是一场战争,还不如形容它是一场‘大戏’。这里有着无尽的恩怨情仇,潮起潮落,幕升幕降。
Not so much the playoffs is a war, might as well describe it as a
科比:“赶场专家” 一边说起刚刚结束不久的比赛,一边抱着1岁的女儿纳塔丽亚,科比幸福极了,满面笑容,语气欢快:“能够向马刺复仇成功,我的感觉很好。”能够4比2淘汰最大的对
今年的6月18日是革命先驱瞿秋白英勇就义80周年,缅怀先烈不仅仅是为了纪念,更是为了继承他们的理想与精神。在瞿秋白身上汇聚着那个年代革命家和知识学者特有的气质和品格,无