【摘 要】
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采用直流磁控溅射法制备了ZnO/（Ni）薄膜。研究了氧分压及Ni掺杂对ZnO薄膜的结构、光致发光特性及薄膜中的几种本征缺陷如氧空位（VO）、锌空位（VZn）、氧位锌（OZn）、锌位氧（ZnO）、间隙氧（Oi
【机 构】
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湖南信息职业技术学院,中南大学材料科学与工程学院
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采用直流磁控溅射法制备了ZnO/（Ni）薄膜。研究了氧分压及Ni掺杂对ZnO薄膜的结构、光致发光特性及薄膜中的几种本征缺陷如氧空位（VO）、锌空位（VZn）、氧位锌（OZn）、锌位氧（ZnO）、间隙氧（Oi）、间隙锌（Zni）等浓度变化的影响。实验结果表明,随着氧分压的增大,466nm处的蓝色发光峰增强,掺Ni后蓝色发光峰也增强。通过分析,推测出蓝色发光峰可能是由ZnO薄膜中的间隙锌（Zni）点缺陷引起的。
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