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为提高CMP的抛光效果,配制了一种混合磨粒CMP抛光液,用于对不锈钢的抛光。实验结果表明:硅溶胶和铝溶胶配比为4∶1,使用十二烷基硫酸钠为阴离子表面活性剂,调节pH值为2.5配制的抛光液的分散稳定性较好;采用上述抛光液对304号不锈钢进行抛光,其粗糙度和光泽度得到明显提高。
混合磨粒CMP抛光液的制备及抛光效果研究
【摘 要】
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为提高CMP的抛光效果,配制了一种混合磨粒CMP抛光液,用于对不锈钢的抛光。实验结果表明:硅溶胶和铝溶胶配比为4∶1,使用十二烷基硫酸钠为阴离子表面活性剂,调节pH值为2.5配制
【机 构】
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河南工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
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河南化工
【发表日期】
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2019年5期
【基金项目】
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河南工业大学科学研究基金项目(2017XTCX07).
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