【摘 要】
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用脉冲激光沉积(PLD)的方法制备ZnO薄膜.通过对薄膜的X射线衍射(XRD)测试,分析了不同衬底温度下薄膜的结晶状况;通过对薄膜的光致发光谱线的测试,分析了不同衬底温度下薄膜的
【机 构】
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中国科学院安徽光机所,郑州大学物理工程学院,郑州轻工业学院
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用脉冲激光沉积(PLD)的方法制备ZnO薄膜.通过对薄膜的X射线衍射(XRD)测试,分析了不同衬底温度下薄膜的结晶状况;通过对薄膜的光致发光谱线的测试,分析了不同衬底温度下薄膜的光致发光状况,同时进行了薄膜表面结构的测试.结果显示,衬底温度为400℃的样品结晶质量较高,具有C轴的择优取向,同时发光性能达到相对优化.
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