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采用sol-gel方法制备出BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,并优化工艺提高其介温变化率最大可达6%.通过半导体光刻工艺,刻蚀出BST探测单元,较好的解决了UFPA技术中的探测单元制备问题.设计了初级信号处理电路,并用Protel进行了电路模拟,所得信号可以应用于进一步的信号处理.
非致冷红外焦平面阵列探测单元的制备
【摘 要】
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采用sol-gel方法制备出BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,并优化工艺提高其介温变化率最大可达6%.通过半导体光刻工艺,刻蚀出BST探测单元,较好的解决了UFPA技术中的探测单元制备问题.设
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2002年4期
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