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用有限元法对微重力环境下液封浮区(LEFZ)法生长的3英寸GaAs单晶中的热应力进行求解.假设晶体处于准定常状态且为轴对称的各向同性线弹性体.分析了液封厚度、晶体和进料棒转速对晶体中热应力分布的影响.
液封浮区法生长GaAs晶体中的热应力
【摘 要】
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用有限元法对微重力环境下液封浮区(LEFZ)法生长的3英寸GaAs单晶中的热应力进行求解.假设晶体处于准定常状态且为轴对称的各向同性线弹性体.分析了液封厚度、晶体和进料棒转
【机 构】
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河南科技大学车辆与动力学院,重庆大学",985工程",二期建设",生物功能信息分析与仪器研究中心",
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2007年4期
【基金项目】
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Supported by NSFC with Grant No. 50376078
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