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【正】 一、前言激光位移计是利用激光以非接触方式测量对象物体的距离、尺寸、形状和振动等的仪器。近年来出现了一些简单的元器件可供利用,如用作光源的半导体激光器(LD)、用作光接收元件的光学位置检测器件(PSD)。PSD 是以亮点像的位置作为模拟信号而输出的半导体器
高精度激光位移计
【摘 要】
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【正】 一、前言激光位移计是利用激光以非接触方式测量对象物体的距离、尺寸、形状和振动等的仪器。近年来出现了一些简单的元器件可供利用,如用作光源的半导体激光器(LD)、
【出 处】
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国外计量
【发表日期】
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1992年3期
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