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REVO?是基于正交式坐标测量机设计和应用的、能够同时实现高效高精度测量的动态测头系统。针对REVO五轴测量系统在非正交式坐标测量机中应用的问题，提出了REVO测头探针变形量的标定方法，并从测量系统返回的有限数据中分离出了各主轴的光栅数据，实现了测量点三维坐标数据的重构。实验验证了所提出标定方法和各主轴光栅值提取的有效性和正确性。实验结果表明，经过探针变形量补偿后，测量误差最大值从〇.2021mm降低到0.0009mm,所提取出的各主轴光栅值变化量降低了两个数量级。