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LTCC技术以其特有的技术特点广泛应用于射频电路系统,本文针对LTCC工艺中关键工艺问题开展研究,详细分析了影响LTCC基板收缩率、翘曲度和层间对位偏差的工艺因素,并阐述了如何优化工艺参数以解决上述问题。通过大量的工艺试验和数据测试,结果表明,新的工艺方案可有效解决这些工艺问题。
LTCC基板关键工艺问题解决方案
【摘 要】
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LTCC技术以其特有的技术特点广泛应用于射频电路系统,本文针对LTCC工艺中关键工艺问题开展研究,详细分析了影响LTCC基板收缩率、翘曲度和层间对位偏差的工艺因素,并阐述了如
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十研究所工程设计中心
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2019年15期
【基金项目】
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LTCC基板工艺技术及工程化应用研究(其他)项目编号：H15001立项单位：中国电科集团公司第十研究所
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