【摘 要】
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本论文以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)、聚乙二醇(PEG)为造孔剂,用HCI、NH4OH作为反应的催化剂,在室温条件下,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂覆工艺在
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本论文以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)、聚乙二醇(PEG)为造孔剂,用HCI、NH4OH作为反应的催化剂,在室温条件下,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂覆工艺在硅片上制备出纳米多孔SiO2薄膜。利用DSCTGA、FT-IR、XRD、AFM和激光粒度仪对所制备的多孔SiO2薄膜及相应的SiO2粉体进行性能表征。结果表明,所制备的SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀、平整;多孔SiO2薄膜的最佳热处理温度为400℃,热处理后的SiO2薄膜中已不存在造孔剂CTAB。
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