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光电三维集成技术
光电三维集成技术
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ssathena
【摘 要】
:
本文介绍了国外近几年来在光电三维集成技术方面的进展.对三线集成工艺技术进行了简要介绍.对于光电三维集成器件的设计考虑也做了简要叙述.
【作 者】
:
白淑华
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1987年3期
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本文介绍了国外近几年来在光电三维集成技术方面的进展.对三线集成工艺技术进行了简要介绍.对于光电三维集成器件的设计考虑也做了简要叙述.
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