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期刊论文
四氯化硅冷氢化技术研究进展
四氯化硅冷氢化技术研究进展
来源 :中国氯碱 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shiguzxy
【摘 要】
:
综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。
【作 者】
:
沈峰
陈其国
潘维杰
【机 构】
:
江苏中能硅业科技发展有限公司
【出 处】
:
中国氯碱
【发表日期】
:
2019年9期
【关键词】
:
四氯化硅
三氯氢硅
多晶硅
冷氢化
silicon tetrachloridetrichlorosilanepolysiliconhydrogenation
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综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。
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