论文部分内容阅读
利用三点弯曲测量CVD金刚石膜的断裂强度的方法,研究试样尺寸、抛光及加载方式对金刚石膜的断裂强度的影响.试样尺寸在一定范围内,试样大小、抛光与否对金刚石膜的断裂强度的影响不大;而10mm×2mm的试样对测量金刚石膜断裂强度具有意义.加载方式对金刚石膜的断裂强度影响较大,当金刚石膜形核面处于张应力时得到的断裂强度值要高于生长面处于张应力时得到的值,棱边加载方式得到断裂强度值处于两者之间,更具有代表性.