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溶胶-凝胶法制备氧化钨薄膜的研究
溶胶-凝胶法制备氧化钨薄膜的研究
来源 :电子测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gebmmi
【摘 要】
:
本文以钨酸盐为原料利用溶胶凝胶法,在陶瓷衬底制备WO3敏感薄膜,于500℃退火。接着对制备好的薄膜进行X射线衍射与电子显微测试,观察到薄膜表面呈较规则的纳米多孔结构。接着
【作 者】
:
刘英
王兵
王速
【机 构】
:
广东宁源科技园发展有限公司
【出 处】
:
电子测试
【发表日期】
:
2016年8X期
【关键词】
:
WO3纳米薄膜
溶胶-凝胶法
气体敏感
Nano-WO3 thin film
sol-gel
gas sensing properties
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本文以钨酸盐为原料利用溶胶凝胶法,在陶瓷衬底制备WO3敏感薄膜,于500℃退火。接着对制备好的薄膜进行X射线衍射与电子显微测试,观察到薄膜表面呈较规则的纳米多孔结构。接着对NO2、H2、乙醇等气体进行敏感测试,测试证明薄膜对H2、乙醇敏感性较差,对NO2敏感性良好。
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