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本文分析了精密时间间隔测量仪误差来源，并提出了处理方法。利用固定时间间隔测量法和比较法对精密时间间隔测量仪，分别在短量程和长量程两种情况进行数据校准，确保精密时间间隔测量仪的测量不确定度在1Ons-100ms的测量范围都控制到1ns以内。以脉冲信号发生器为标准，与特定示波器的测量不确定度进行对比，给出被测时间间隔小于1μs时和大于10μs时两种仪器的不确定度差异，并分析产生的原因。