【摘 要】
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利用计量光栅的栅距作为基准刻线，对二维精密工作台的运动位移进行测量，提出了一种新的位移测量方法。通过CCD（charge coupled device）获取光栅刻线图像，对图像进行分析处理，计算出
【机 构】
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湖北工业大学湖北省现代制造质量工程重点实验室
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利用计量光栅的栅距作为基准刻线，对二维精密工作台的运动位移进行测量，提出了一种新的位移测量方法。通过CCD（charge coupled device）获取光栅刻线图像，对图像进行分析处理，计算出栅距与图像像素之间的映射系数，再通过对工作台移动前后光栅图像的对比，采用基于李萨如图的相位差比率算法获取它们的像素位置差，从而计算出工作台的实际运行位移量。
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