【摘 要】
：
文中介绍了一低驱动电压接触式RF-MEMS开关,开关采取了两端固定的＂桥式＂结构,在桥与支撑点间采用折叠弯曲的铰链结构,而且紧靠中央信号线的旁边各有一个较大面积的电极,这些措
【机 构】
：
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
文中介绍了一低驱动电压接触式RF-MEMS开关,开关采取了两端固定的＂桥式＂结构,在桥与支撑点间采用折叠弯曲的铰链结构,而且紧靠中央信号线的旁边各有一个较大面积的电极,这些措施降低了开关的驱动电压。整个工艺采用表面微加工工艺。由实验测试可知：开关驱动电压11 V左右,与ANSYS模拟的值12 V基本一致,开关的S参数,在的范围内,插入损耗要小于-1 dB,在频段（≤5 GHz）,开关的隔离度要优于-30 dB,在频段5~10 GHz,隔离度也要高于-20 dB.
其他文献
系统研究了几种铝合金板材（5000系列和6000系列）的力学性能、化学成分、金相组织以及6000系列铝合金的烘烤硬化性能，为铝合金汽车冲压件的应用提供了基本材料数据。
早在2008年12月6日，重庆市教育制度创新案例“加大投入，化解农村义务教育经费难题”就在中国首届地方教育制度创新奖上获得“地方教育制度创新优秀奖”。近年，尤其是今年上半年，
时尚是美、是流行、是个性,也是获得回头率的要素。热爱时尚,追逐潮流的人,乐于打造出自己独特的个人魅力、体现自己的个性以及自己独树一帜的个人风格。每年的流行趋势不同,
介绍了电解质离子成分对轻合金形成涂层性质的影响.叙述了各种因素对离子的形成及其水解速度的影响、离子的确定方法及其对涂层元素成分的影响.
ARKEMA是全球最大的聚酰胺尼龙11（PA11）与尼龙12（PA12）的生产和供应厂家，同时也是全球惟一一家两种产品同时生产和供应的厂家，因此无论是技术方面，还是供应链方面都可以为全球客户提
对用于大管道流量测量的新型插入式节流装置，根据相似原理的分析，推导出流体在强制流动条件下，两流体系统压力场相似的欧拉准数Eu，利用风洞实验进行验证和标定，从而应用于实际流体
丰城曲江煤炭开发有限责任公司是1997年组建的国有独资公司，隶属丰城矿务局。2006年10月被安源实业股份有限公司收购90％的股权。公司主要从事煤炭开采、煤层气开发和精煤加工。
随着现代电子技术的发展,测试手段的提高,开发人员对数字存储示波器的采样率提出了更高要求。为了解决高速数据采集成本高的问题,提出了随机等效采样技术,并利用游标卡尺原理实现对触发时刻与下一采样时钟的时间测量,完成了等效采样率为10 G的采集模块的设计。该模块主要由触发时钟产生模块、采样时钟产生模块、等效采样测时模块与数据存储模块组成。该技术具有较高的实用性,并已应用于产品中。
研究了一种具有工业以太网接口的差压质量流量计。该质量流量计利用差压、压力、介质温度组成的复合多功能传感器,以及管道中节流装置进行质量流量测量,通过DSP对差压、压力和介质温度信号进行处理,得到流体的瞬时质量流量和累积质量流量;进行了工业以太网(MODBUS/TCP)接口模块的电路设计和相应的软件设计。最后以水为介质,在不同的节流件孔径条件下进行了质量流量测量,不确定度均为±1%左右。