【摘 要】
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设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统,主要包括迈克耳孙白光干涉系统和光纤光谱仪。对干涉信号进行频域分析,结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(60708013,60778025)资助课题
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设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统,主要包括迈克耳孙白光干涉系统和光纤光谱仪。对干涉信号进行频域分析,结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函数,进一步精确反演得到待测薄膜样品的物理厚度,使用上述方法对多组不同厚度的薄膜样品进行计算,并对结果进行了详细的精度及误差分析。将本实验装置测试所得到的数据与传统的光度法相比较,结果表明使用该测试方法测量光学薄膜物理厚度的误差可以小于1 nm。与传统的光度法和椭偏法相比,提供了一种测量光学薄膜厚度的较为简单、快速的解决方案,同时保证了较高的精度。
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