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综述了ＳｉＧｅ材料的性质、主要研究方向以及最新的发展情况，并介绍了国外ＳｉＧｅ的研究情况。
SiGe半导体技术新进展
【摘 要】
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综述了ＳｉＧｅ材料的性质、主要研究方向以及最新的发展情况，并介绍了国外ＳｉＧｅ的研究情况。
【机 构】
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电子十三所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2000年3期
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