研究与玻璃粘接的GaAs/GaAlAs外延层晶体质量的X射线衍射方法

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本文应用讷经多重晶多次反射X射线衍射(High-Resolution Multiple-Crystal Multiple-Reflection Diffractometer,HRMCMRD)研究了粘接后的GaAs/GaAlAs玻璃结构。利用倒易空间衍射图的方法评价粘接后的晶体质量,给出了倒易空间衍射的三维强度分布图。结果表明,粘接过程中较大的应力将使应变的非四方畸变加剧,同时生长方向的应变产生较大
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