压电式微驱动器的应用研究

来源 :上海理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cjc013

【摘要】

：

在分析常用微驱动器的基础上,设计了一种压电式微驱动器,采用柔性铰链机构实现无机械摩擦、无间隙的高灵敏度微驱动,利用柔性铰链杠杆放大原理增加了叠层式压电陶瓷位移输出,

【作者】

：

杨旭霞陈道炯单世宝高春雨韦光辉

【机构】

：

上海理工大学

【出处】

：

上海理工大学学报

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

微驱动器微位移机构

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在分析常用微驱动器的基础上,设计了一种压电式微驱动器,采用柔性铰链机构实现无机械摩擦、无间隙的高灵敏度微驱动,利用柔性铰链杠杆放大原理增加了叠层式压电陶瓷位移输出,满足了在激光测量系统中作为移相器的工作要求.文章对柔性铰链机构进行了理论分析,建立了数学模型,采用有限元分析方法优化了机构的结构参数.

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