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期刊论文
磷吸杂工艺研究
磷吸杂工艺研究
来源 :电子元器件应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shying
【摘 要】
:
磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6—8Ω/□(欧姆/方块)的磷吸杂工艺条件,并对过程的相关影响因素进行分析和探
【作 者】
:
唐穗生
【机 构】
:
汕头华汕电子器件有限公司
【出 处】
:
电子元器件应用
【发表日期】
:
2007年5期
【关键词】
:
磷吸杂
晶体管
芯片制造
工艺
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磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6—8Ω/□(欧姆/方块)的磷吸杂工艺条件,并对过程的相关影响因素进行分析和探讨,同时提出了解决方法。
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