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主要研究一种应用共振隧穿压阻薄膜的GaAs基4梁式微加速度计，设计出共振隧穿薄膜以及GaAs基微加速度计的结构．利用有限元软件Ansys对加速度计进行了模态仿真．讨论了加速度计的加工工艺，并完成了基于加速度计共振隧穿压阻薄膜的压阻特性研究．首次采用控制孔技术制造了GaAs基微加速度计．
基于共振隧穿压阻薄膜的GaAs基微加速度计研究
【摘 要】
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主要研究一种应用共振隧穿压阻薄膜的GaAs基4梁式微加速度计，设计出共振隧穿薄膜以及GaAs基微加速度计的结构．利用有限元软件Ansys对加速度计进行了模态仿真．讨论了加速度计的加
【机 构】
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北京理工大学机电工程学院,中北大学电子测试技术国家重点实验室
【出 处】
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中北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2006年5期
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