三轴压电电阻型加速度传感器

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三轴压电电阻型加速度传感器冈田和广最近开发出一种能检测加速度在X、Y、Z方向3个分量(AX,AY,AZ)的三轴压电电阻型加速度传感器。这种传感器是应用了半导体技术和微切削加工技术制作的,在硅片表面上形成用来检测3个轴向加速度分量的检测电阻。在硅片背面... Triaxial Piezoresistive Acceleration Sensors Okada Kazuhiro recently developed a triaxial piezoresistive acceleration sensor capable of detecting three components (AX, AY, AZ) of accelerations in the X, Y and Z directions. The sensor is fabricated using semiconductor technology and micromachining technology to create a sense resistor on the surface of the wafer that detects three axial acceleration components. On the back of the wafer ...
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