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基于陶瓷基板的偏差校正研究
基于陶瓷基板的偏差校正研究
来源 :机械工程与自动化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:coolboywcp
【摘 要】
:
为保证4寸陶瓷基板的运输定位精度,设计了一种校正装置,并提出一种通过机器人的辅助搬运来消除偏差的校正方案。该方法可以有效地消除陶瓷基板在料盒中的放置偏差,有助于提高
【作 者】
:
叶文涛
贺云波
【机 构】
:
广东工业大学机电工程学院
【出 处】
:
机械工程与自动化
【发表日期】
:
2019年5期
【关键词】
:
陶瓷基板
校正
偏差
定位精度
ceramic substrate
correction
deviation
positioning accuracy
【基金项目】
:
广东省自然科学基金资助项目(2016A03030816),广东省重大研发专项(2015B010133005,2018B090906002)
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为保证4寸陶瓷基板的运输定位精度,设计了一种校正装置,并提出一种通过机器人的辅助搬运来消除偏差的校正方案。该方法可以有效地消除陶瓷基板在料盒中的放置偏差,有助于提高4寸陶瓷基板在运输后的定位精度。
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