【摘 要】
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介绍了毫米波悬臂梁接触式反射型RF-MEMS串联开关芯片的设计、制造和测试。采用三维电磁场仿真软件AnsoftHFSS进行仿真和优化设计,开关芯片尺寸为:0.8mm×0.95mm×0.4mm,芯片
【基金项目】
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国防重点实验室基金(51491030205BQ0201)
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介绍了毫米波悬臂梁接触式反射型RF-MEMS串联开关芯片的设计、制造和测试。采用三维电磁场仿真软件AnsoftHFSS进行仿真和优化设计,开关芯片尺寸为:0.8mm×0.95mm×0.4mm,芯片测试结果为:在50GHz频率插入损耗为1.1dB,隔离度测试值约为23dB,设计和测试的结果吻合较好。这种RF-MEMS开关可在毫米波系统中广泛应用。
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