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采用FRESNEL光学软件和MATLAB编程,详细分析了垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差对耦合效率的影响.发现在芯片横向偏移、芯片倾斜和管帽倾斜这三种操作误差中,管帽倾斜对封装组件的耦合效率影响最大.
垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析
【摘 要】
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采用FRESNEL光学软件和MATLAB编程,详细分析了垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差对耦合效率的影响.发现在芯片横向偏移、芯片倾斜和管帽倾斜这三种操作误差中,管帽倾斜
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2006年08期
【基金项目】
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国家自然科学基金国际合作重大项目资助项目(批准号:00410760)~~
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