e型枪热蒸法制备的非化学计量ZnO薄膜的结构性能

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采用e型电子枪热蒸技术,在不同条件下成功地制备了不同O/Zn比的非化学计量ZnO薄膜。利用系列物理手段,如XPS,XRD法对其结构性能进行了分析。结果表明,选择适当的基底温度及热处理温度可获得物理性能很好的非化学计量的ZnO薄膜。
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