【摘 要】
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目前普遍采用的衬底表面预处理方法有:①表面脱Co处理:采用HCl、HNO3、H2SO4等对衬底表面层中的co进行酸蚀处理;采用氢等离子体或含氧的氢等离子体刻蚀Co;采用化学试剂钝化等方法
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目前普遍采用的衬底表面预处理方法有:①表面脱Co处理:采用HCl、HNO3、H2SO4等对衬底表面层中的co进行酸蚀处理;采用氢等离子体或含氧的氢等离子体刻蚀Co;采用化学试剂钝化等方法使衬底表面层中的Co失去活性;采用化学反应置换Co,将硬质合金衬底刀具放入化学试剂中,利用置换反应将表面层中的Co置换成其它物质(如Cu)。②在金刚石薄膜与衬底之间预沉积中间过渡层,
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