【摘 要】
：
随着国民经济发展"节能减排"任务的加剧,以及新兴电子系统变化的要求,电子系统对半导体元器件技术提出了高密度、高速度、低功耗、大功率、宽工作温度范围、抗辐射和高可靠等
【机 构】
：
西安理工大学材料科学与工程学院,西北电子装备技术研究所
论文部分内容阅读
随着国民经济发展"节能减排"任务的加剧,以及新兴电子系统变化的要求,电子系统对半导体元器件技术提出了高密度、高速度、低功耗、大功率、宽工作温度范围、抗辐射和高可靠等性能的要求。SiC单晶材料作为新兴的三代半导体衬底材料正好满足这些要求,被认为是制备微波器件、高频大功率器件、高压电力电子器件的优良衬底材料。分别介绍了传统Si-C-H体系和高速Si-C-H-Cl体系SiC外延工艺研究现状,同时介绍了新颖的高纯半绝缘SiC外延工艺研究状况。论述了SiC外延衬底在电力电子器件、微波器件等方面的应用,阐述了SiC外延衬底在未来节能减排、经济建设中的重要性。
其他文献
新中国成立前,我军曾先后与日军、英军兵戎相见:朝鲜战争中,曾与美国、英国、法国、澳大利亚、荷兰、加拿大、菲律宾、土耳其、泰国、南非、希腊、比利时、卢森堡、哥伦比亚
曹端广：一个任人打扮的“小姑娘”——“铁岭说”“驳难”赵东海一前言拙文“驳难”的对象是曹雪芹祖籍讨论和研究中的“铁岭说”。“铁岭说”是由李奉佐先生在他的专著《曹雪
通过对电子产品材料优选、结构设计防护及工艺防护的研究,分析了电子产品在各项因素的影响下怎样才能够达到三防性能要求。总结了各种原因导致的常见三防质量问题,并对其产生
采用扫描电子显微镜、润湿性、拔/撞锡球和打金线测试等分析手段,比较研究了四家化学镍钯金药水表面处理焊盘的焊接可靠性,同时比较研究了化学镍钯金表面处理和化学镍金表面
在印刷电路板的电路设计阶段就进行电磁兼容性设计是非常重要的。分析了印刷电路板中电磁干扰产生的机理,提出了如何抑制共模干扰和差模干扰以及串扰等提高印制板电磁兼容性
<正> 1 建筑装饰市场 据中国建筑装饰协会对1998年到2000年建筑行业统计、分析表明来看,1998年全行业产值为2000亿元增长20％,2000年全行业产值为2800亿元,发展速度仍保持在20％
为满足大规模线性方程组对内存容量的要求，针对对称方程组提出一种高斯消去的并行化方案。对称方程组在高斯消去过程中其子方阵的对称性仍然存在，因此在并行计算时只读入和计算
畜禽粪污还田资源化利用的同时,带来了雌激素类物质污染风险,而吸附特性决定了雌激素的土壤环境风险和生物可利用性.为掌握雌激素在土壤中的吸附特性,采用批吸附室内模拟实验
本文以澳门新葡京酒店塔楼单元式幕墙的设计为例,阐述单元式幕墙的构造设计,其中需要考虑到的包括安全性、水密性、气密性、平面内移动、安装、维修等多个方面的问题。
色彩是构成城市设计的基本要素之一,对城市色彩景观进行控制是现代城市设计的一门新课题。本文城市色彩景观的研究对象进行了具体的分析,并结合一些案例对城市色彩景观的程序