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硅单晶生长晶向校准对成品率和径向电阻率均匀度的影响
硅单晶生长晶向校准对成品率和径向电阻率均匀度的影响
来源 :科技通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:catherine00800
【摘 要】
:
研制了取向可以自由调节的籽晶调向夹头,应用于激光晶轴定向仪,在炉外调整籽晶在夹头中的晶向,达到校准硅单晶生长晶向,提高了直拉无位错硅单晶的成品率和单晶的径向电阻率均
【作 者】
:
陈立登
张民杰
【出 处】
:
科技通报
【发表日期】
:
1990年01期
【关键词】
:
硅单晶
径向电阻率
成品率
均匀度
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研制了取向可以自由调节的籽晶调向夹头,应用于激光晶轴定向仪,在炉外调整籽晶在夹头中的晶向,达到校准硅单晶生长晶向,提高了直拉无位错硅单晶的成品率和单晶的径向电阻率均匀度。
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