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一种采用PVDF薄膜和压电传感器结合钨探针构成的新型扫描测头可以对柔软易损坏及具有大台阶特征的表面实现高精度非破坏性测量。基于该新型测头构建了硬件电路系统,并通过相关试验测试了系统特性。试验结果证明：该扫描测头在垂直方向上可实现亚纳米级的分辨率。
基于PVDF扫描测头的电路系统构建及性能测试
【摘 要】
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一种采用PVDF薄膜和压电传感器结合钨探针构成的新型扫描测头可以对柔软易损坏及具有大台阶特征的表面实现高精度非破坏性测量。基于该新型测头构建了硬件电路系统,并通过相
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2012年10期
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