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厚膜印刷模型
厚膜印刷模型
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:holight123
【摘 要】
:
提出了厚膜印刷的物理模型,并用静态模型建立了丝网印刷参数和图形的压印形变量之间的关系,以解决实际印刷工艺中的图形匹配各精确套印问题。
【作 者】
:
刘忠安
【机 构】
:
南京电子器件研究所国家平板显示工程技术研究中心
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
静态模型
厚膜印刷
物理模型
半导体工艺
thick film screen printing overprint graph printing match p
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提出了厚膜印刷的物理模型,并用静态模型建立了丝网印刷参数和图形的压印形变量之间的关系,以解决实际印刷工艺中的图形匹配各精确套印问题。
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