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全氟辛烷磺酰基化合物（PFOS）是《斯德哥尔摩公约》新POPs审查委员会审查通过的新增持久性有机污染物，对其环境问题的研究已成为当前环境科学的一大热点；半导体制造业是PFOS应用最主要的行业之一。根据欧盟技术指导文件和EUSES模型预测了半导体制造企业PFOS排放及其附近场所环境浓度，并进行水体环境风险评价。