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综述了用于覆盖层厚度无损测量的电磁性法、涡流法、β背散射法和X射线荧光法的方法原理、适用范围及优缺点,并对相关仪器、厂商及仪器的发展趋势进行了评述。
材料表面覆盖层厚度无损测试技术
【摘 要】
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综述了用于覆盖层厚度无损测量的电磁性法、涡流法、β背散射法和X射线荧光法的方法原理、适用范围及优缺点,并对相关仪器、厂商及仪器的发展趋势进行了评述。
【机 构】
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中国工程物理研究院
【出 处】
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核电子学与探测技术
【发表日期】
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2008年06期
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