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随着信息技术的快速发展,应用于该领域的高频软磁材料成为当前研究的热点之一。相比传统块体材料与微波铁氧体材料,软磁金属薄膜有望在高频条件下实现高磁导率,同时实现轻质化、薄型化等技术要求,具有广阔的应用前景,因而受到磁性材料和微波器件研究领域的一致关注。面对微波集成应用技术向更高频率发展的重大需求,提高材料的面内单轴各向异性是该领域研究的核心内容。分别针对感生各向异性、形状各向异性、磁弹(应力)各向异性、交换各向异性、磁晶各向异性等不同类别,综述软磁金属薄膜面内单轴磁各向异性与微波性能调控方面的进展。