【摘 要】
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多层膜极紫外光刻掩模“白板”缺陷是制约下一代光刻技术发展的瓶颈之一,为提高对掩模“白板”上的膜层微结构缺陷的分辨能力,提出了一种微分干涉差共焦显微探测系统方案。基
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院大学,中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
【基金项目】
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吉林省重大科技攻关专项(No.20140203001GX)
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多层膜极紫外光刻掩模“白板”缺陷是制约下一代光刻技术发展的瓶颈之一,为提高对掩模“白板”上的膜层微结构缺陷的分辨能力,提出了一种微分干涉差共焦显微探测系统方案。基于标量衍射理论,计算了系统横向和轴向分辨率。利用MATLAB建模仿真,在数值孔径为0.65、工作波长为405 nm时,分析比较了微分干涉差共焦显微系统、传统显微系统和共焦显微系统的分辨率。结果表明微分干涉差共焦显微系统具有230 nm的横向分辨率和25 nm轴向台阶高度差的分辨能力(对应划痕等缺陷形式)。此外,仿真和分析了实际应用中探测器尺寸、样
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